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【微區分析】多功能離子減薄儀

時間:2022-01-07來源:趙云經理

儀器簡介:

功能特點:金屬、陶瓷等耐離子束樣品的減薄、清潔、拋光、切割。

優勢:操作簡便,高效處理樣品,安全。


主要技術參數:

1.兩把非聚焦型的鞍型場槍,可對樣品的大面積區域進行離子拋光或減薄。

2.離子束加速電壓調節范圍:0.8 kV - 10 kV(0.1 keV每步);離子束流:最大4.5mA。

3.樣品臺傾斜范圍:-120°至210°(精確度為0.1°)。

4. SEM平面研磨樣品臺:最大Φ25mm×12mm;TEM和FIB樣品臺:Φ3mm。


應用領域:

1.金屬、陶瓷等材料TEM樣品的制備。

2.SEM樣品表面清潔、拋光。

3.FIB切片樣品表面清潔、去非晶層。


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