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【微區(qū)分析】臺式掃描電子顯微鏡

時間:2022-01-07來源:趙云經(jīng)理

儀器簡介:

功能特點:可在低真空下觀察成分像、陰影像和凹凸像。樣品室空氣壓力大于5Pa,可實現(xiàn)對不導(dǎo)電樣品的無噴涂觀察。

優(yōu)勢:快速抽真空,操作簡便,快速得到圖像。


主要技術(shù)參數(shù):

1.放大倍率:低倍模式 15 – 60 k。

2.鎢燈絲電子槍加速電壓:15 kV、 5 kV。

3.手動樣品臺樣品臺可移動范圍:X: ±17.5 mm;Y: ±17.5 mm。

4.檢測器配置:背散射電子檢測器(檢測器窗口數(shù)目≥ 4個)。

應(yīng)用領(lǐng)域:

金屬、半導(dǎo)體等材料的顯微形貌觀察與分析。


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