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【物性分析】X射線光電子能譜儀

時間:2022-01-07來源:趙云經理

儀器簡介:

功能:配置多項拓展功能,能實現掃描/平行成像、XPS采譜、角分辨XPS、刻蝕深度剖析、REELS、UPS、ISS等多項功能。

優勢:配置高達0.44 eV能量分辨率的半球能量分析器和束斑最小可調節縮小至14.5 μm的微聚焦單色化X射線源,能實現對樣品微區域的準確分析;中和槍系統包含同軸非準直電子中和源及同源雙束中和源,能實現對大部分半導體、絕緣體樣品的分析;配置MAGCIS復合型離子源,包括高效單粒子離子源及團簇離子源。其中團簇離子源較傳統的單粒子離子源對樣品破壞較小,能實現對有機物的深度剖析。


主要技術參數:

1、能量掃描范圍0~1500 eV,通過能范圍1~400 eV;

2、束斑范圍:20~900 μm;

3、能量分辨率0.44 eV,靈敏度1.5Mcps@0.6 eV (650 μm束斑);

4、成像空間分辨率為3 μm;

5、原位氣體反應室能夠實現加熱溫度達到1000 ℃的處理,同時可通入至少四路的反應氣氛。


應用領域:

可實現對有機聚合物、無機物、金屬、半導體等樣品表面除氦以外的所有元素,進行元素種類及化學價態的分析、相對含量的半定量分析、表面刻蝕及深度剖析、價態電子結構分析以及導電性較好的材料的功函數的測量。


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